【掩膜板】什么是掩膜版?

2021-09-18 浏览次数:1119

掩膜版是制作掩膜图形的理想感光性空白板,

通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上,用来制造芯片。

掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,

如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。

待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。

其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。

其中掩膜版图形数据由用户自行设计并提交,后续加工工艺由工程师完成。

由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤,要求用户对所提交的版图文件仔细核对,确保图形正确性。



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